日本荏原OZC高濃度潔凈臭氧發生器

臭氧發生器采用一種新的放電原理，通過無聲和表面放電方法產生高濃度臭氧。

特點和優勢

OZC型是一種臭氧發生器，能夠穩定地產生大量高濃度臭氧（10vol%或更高）。通過采用高度耐臭氧和等離子體的材料，實現清潔的臭氧氣體和較長的產品壽命。通過大幅增加單位面積產生的臭氧量來實現占地面積小的臭氧發生器。標配臭氧泄漏傳感器等安全功能，以及在發生錯誤或緊急情況時安全停止設備的安全電路。

特征

在超高濃度下穩定地產生大量臭氧。

通過采用陶瓷涂層電極和藍寶石電介質實現超潔凈臭氧。

由于每單位排放面積產生大量臭氧，因此減少了占地面積。

標配臭氧檢漏儀。

符合 S2-93 標準的設計。提供 CE 型號。

基本操作：氧氣通過溝槽放電器（電場），從而使氧分子電離反應并產生臭氧氣體。然后，客戶可以根據他們的應用獲取臭氧氣體和用途。

應用

基于SACVD TEOS的SiO2沉積

干式光刻膠灰化

濺射

干洗和濕洗

表面氧化

氧化層的退火

超純水消毒