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原子層沉積系統(tǒng)臭氧發(fā)生器要求

發(fā)布日期:2025-01-07  瀏覽次數(shù):

原子層沉積系統(tǒng)臭氧發(fā)生器要求

原子層沉積系統(tǒng)用臭氧發(fā)生器要求如下:

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臭氧發(fā)生器產(chǎn)量10 g/h,濃度不低于80 g/m,臭氧流量可控(0~200 sccm)

以下臭氧發(fā)生器可滿足要求:

1、3S-T10  ,臭氧產(chǎn)量10g/h,臭氧濃度120mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-4L/min

2、NANO15,臭氧產(chǎn)量15g/h,臭氧濃度150mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-2L/min

3、3S-M5,臭氧產(chǎn)量10g/h,臭氧濃度110mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-2L/min

4、EXT-M10,臭氧產(chǎn)量5-10g/h,臭氧濃度120mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-2L/min

5、Atlas H30  ,臭氧產(chǎn)量3g/h,臭氧濃度200mg/L,氧氣進(jìn)氣范圍0.05-2L/min

可根據(jù)臭氧濃度需求,體積大小,價(jià)位來(lái)選擇合適的臭氧發(fā)生器。


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